电子厂废气处理办法——低温等离子技能

未知, 2022-07-29 14:32, 次浏览

电子厂废气处理办法——低温等离子技能

电子厂涉及到的职业许多，不同职业在工艺上有必定差异，发生的废气种类也有必定的差异，今日就从半导体职业下手为***家介绍电子厂废气处理。电子厂半导体废气的处理***要针对半导体职业有机废气和毒性气体的治理，咱们尝试运用低温等离子废气处理技能。半导体职业发生的有机废气，***要能够分为，半导体制作工艺发生的有机废气，和半导体封装工艺发生的有机废气。

电子厂废气

1、厂家处理有机废气和毒气的处理办法

现在，半导体制作进程中排放的含有有机成分的废气(voc)一般选用直接焚烧、活性炭吸附、生物氧化等办法进行处理。

催化燃烧设备

2、针对电子厂废气处理半导体职业有机废气和毒性气体的治理，低温等离子废气处理技能的净化原理是：

将一般的220V/380V交流电经过变压器，变频器转换为高频高压的电压，发生足以击穿气体的电压，释放出高能电子，高能电子破坏有机废气中的气体分子之间的化学键，断开这些化学键从而发生了各种碳原子、氧原子、氢原子、氢氧自由基、臭氧等混合体，等离子体中的氧原子和碳原子结合构成二氧化碳，氧原子和氢原子结合构成水分子，终究发生排放到***气中的气体为无污染的二氧化碳（CO2）和水(H2O)。

洗涤塔+低温等离子处理方案

3、电子厂废气处理低温等离子废气处理技能具有以下***点：

放电发生的低温等离子体中，电子能量高，几乎能够和一切的恶臭气体分子效果。

反应快，不受气速约束。

选用防腐蚀资料。

只需用电，操作极为简略。

设备发动、中止十分迅速，随用随开，常温常压下即能运用。

气阻小，适用于***风量的废气处理。

4、电子厂废气处理低温等离子废气处理技能应用***域：集成电路出产企业、分立器件出产企业、光电组件出产企业。

5、半导体企业废气排放***征分析

半导体职业废气排放具有排气量***、排放浓度小的***色。

6、半导体职业有机废气和毒气的来历

半导体制作工艺发生的挥发性有机废气，***要来历于光刻、显影、刻蚀及分散等工序

与半导体制作工艺比较，半导体封装工艺发生的有机废气较为简略，***要为晶粒粘贴、封胶后烘烤进程发生的烘烤废气。

含毒气性废气，其来历为化学气相沉积、干蚀刻机、分散、离子布值机及磊晶等制程时所发生。***要成分是磷化氢等。